蒸餾水:通過(guò)蒸餾冷凝制得的水所以里面的無(wú)機(jī)鹽會(huì)含的很少.如果只是經(jīng)過(guò)一次蒸餾得到的水里面雖然那些不揮發(fā)的組分（鹽類）被除去但水中揮發(fā)的組分（氨、二氧化碳、有機(jī)物）還是會(huì)進(jìn)入蒸餾水中.
雙蒸水:兩次蒸餾
三蒸水:三次蒸餾
超純水:超純水又稱高純水，是指將水中的導(dǎo)電介質(zhì)幾乎全部去除，又將水中不離解的膠體物質(zhì)、氣體和有機(jī)物均去除至很低程度的水，。超純水的含鹽量在0. 1mg/L以下,電導(dǎo)率小于0. 1μs/cm。常見純化儀器:NANOpure或Milli-Q
去離子水:應(yīng)用離子交換樹脂去除水中的陰離子和陽(yáng)離子，但水中仍然存在可溶性的有機(jī)物，可以污染離子交換柱從而降低其功效，去離子水存放后也容易引起細(xì)菌的繁殖。 從自來(lái)水到去離子水一般要經(jīng)過(guò)幾步處理 先通過(guò)石英砂過(guò)濾顆粒較粗的雜質(zhì)再分別依次通過(guò)陰陽(yáng)離子交換柱去除離子 然后加壓通過(guò)反滲透膜 zui后一般還要經(jīng)過(guò)一步紫外殺菌以去除水中的微生物 假如此時(shí)電阻率還沒(méi)有達(dá)到要求的話 可以再進(jìn)行一次離子交換和反滲透過(guò)程 而蒸餾水只是先氣化再冷凝 純度一般不如去離子水 實(shí)際半導(dǎo)體工業(yè)中用的大多數(shù)是去離子水.
無(wú)菌水:通常是通過(guò)高溫蒸汽法,UHT熱法,化學(xué)法,臭氧方法和物理過(guò)濾法將水中微生物殺死或過(guò)濾掉而得到的水,水中的無(wú)機(jī)鹽等一般來(lái)說(shuō)不會(huì)減少.
